标准编号：JJF(冀) 213-2023
标准名称：关键尺寸扫描电子显微镜校准规范
发布部门：河北省市场监督管理局
起草单位：
发布日期：2023-08-02
实施日期：2023-11-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：729.71 KB
内容简介
本规范适用于放大倍数 20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准。
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