标准编号：T/CEMIA 033-2023
标准名称：半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管
英文名称：Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process
发布部门：中国电子材料行业协会
起草单位：上海强华实业股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、北京凯德石英股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司
标准状态：现行
发布日期：2023-06-08
实施日期：2023-09-08
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。
本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。
本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。
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