标准编号：T/CPIA 0059-2024
标准名称：晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备
发布部门：中国光伏行业协会
起草单位：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、无锡市检验检测认证研究院、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、嘉兴阿特斯技术研究院有限公司、一道新能源科技股份有限公司、正泰新能科技有限公司、晶澳太阳能科技有限公司、英利能源发展有限公司、常州大学（江苏省光伏科学与工程协同创新中心）、扬州大学、国信认证无锡有限公司、宁夏国信检研科技有限公司
发布日期：2024-03-10
实施日期：2024-03-15
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.25 MB
内容简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式LPCVD设备的生产及检验。其他类型LPCVD设备可参考使用。LPCVD设备可进行隧穿氧化层、本征多晶硅（Poly-Si）层、原位掺杂多晶硅（Poly-Si）层等的工艺制备。
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