T/DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷

本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。
本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体。