标准编号：T/QGCML 396-2022
标准名称：线切割后清洗机
发布部门：全国城市工业品贸易中心联合会
起草单位：浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱（上海）电子贸易有限公司、科倍氟科技（上海）有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士（中国）有限公司、三菱电机自动化（中国）有限公司
发布日期：2022-10-10
实施日期：2022-10-25
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：236.85 KB
内容简介
本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。
本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验。
本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验。
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