标准编号：T/CSTM 01148-2024
标准名称：电子级氨水
英文名称：Electronic grade ammonium hydroxide
发布部门：中关村材料试验技术联盟
起草单位：深圳新宙邦科技股份有限公司、浙江建业微电子材料有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、福建天甫电子材料有限公司、江化微（镇江）电子材料有限公司、晶瑞（湖北）微电子材料有限公司、新迈奇材料股份有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、联仕新材料（苏州）股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、中国化工情报信息协会、北京中企标服国际信息技术研究院
标准状态：现行
发布日期：2024-04-29
实施日期：2024-07-29
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了电子级氨水的分级与命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料，经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电路（半导体）、印刷电路板等制程用化学品。CAS号：1336-21-6分子式：NH3·H2O相对分子质量：35.05（按2022年国际相对原子质量）
下载地址