首页 > 地方标准 > 湖北省地方标准(DB42) > JJF(鄂) 112-2024 氧化层膜厚标准样片校准规范

JJF(鄂) 112-2024 氧化层膜厚标准样片校准规范

标准编号：JJF(鄂) 112-2024

标准名称：氧化层膜厚标准样片校准规范

发布部门：湖北省市场监督管理局

起草单位：

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

标准状态：现行

标准格式：PDF

文件大小：704.71 KB

内容简介

本规范规定了厚度在10nm~1000nm之间的氧化层膜厚标准样片的校准。

下载地址

下载地址②

上一篇：JJF(鄂) 111-2024 晶圆测试系统校准规范
下一篇：JJF(鄂) 113-2024 数字集成电路标准样片校准规范

下载排行

推荐内容