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JJF(鄂) 115-2024 线宽标准样片校准规范

标准编号：JJF(鄂) 115-2024

标准名称：线宽标准样片校准规范

发布部门：湖北省市场监督管理局

起草单位：

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

标准状态：现行

标准格式：PDF

文件大小：704.93 KB

内容简介

本规范适用于线宽在100nm~10μm之间的线宽标准样片线宽的校准。

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