标准编号：T/ZJCX 0043-2024
标准名称：等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟
英文名称：Graphite boat for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：浙江省企业技术创新协会
起草单位：浙江华熔科技有限公司、合肥大恒智慧能源科技有限公司、赛瑞达智能电子装备（无锡）有限公司、润马光能科技（金华）有限公司、平顶山东方碳素股份有限公司、河南五星新材科技股份有限公司、浙江华照半导体材料有限公司、山西博翔汇良新材料有限公司、平顶山市博翔碳素有限公司、苏州兆恩精密仪器有限公司、宜兴市希羽陶瓷有限公司、浙江亿值旺新材料科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2024-07-23
实施日期：2024-07-24
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。
本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。
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