标准编号：T/QGCML 4573-2024
标准名称：高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范
发布部门：全国城市工业品贸易中心联合会
起草单位：
发布日期：2024-08-12
实施日期：2024-08-27
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：233.55 KB
内容简介
T/QGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范;
高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范 T/QGCML 4573-2024
高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范 T/QGCML 4573-2024
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