标准编号：T/STIC 110096-2024
标准名称：半导体用多级罗茨干式真空泵
英文名称：Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor
发布部门：上海市检验检测认证协会
起草单位：上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会
标准状态：现行
发布日期：2024-01-01
实施日期：2024-01-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。
本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。
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