标准编号：T/GVS 015-2024
标准名称：远程等离子体源的解离率测试方法
英文名称：Test method for dissociation rate of remote plasma source
发布部门：广东省真空学会
起草单位：季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2024-10-10
实施日期：2024-10-10
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。
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