标准编号：T/CPIA 0106-2025
标准名称：晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范
发布部门：中国光伏行业协会
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、英利能源发展有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司
发布日期：2025-03-15
实施日期：2025-03-30
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.59 MB
内容简介
本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。
本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。
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