标准编号：T/CPIA 0108-2025
标准名称：晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉
发布部门：中国光伏行业协会
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、嘉兴阿特斯技术研究院有限公司、晶澳太阳能科技股份有限公司、一道新能源科技股份有限公司、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、正泰新能科技股份有限公司、天合光能股份有限公司、英利能源发展有限公司、无锡尚德太阳能电力有限公司、湖南红太阳新能源科技有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司
发布日期：2025-03-15
实施日期：2025-03-30
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：342.58 KB
内容简介
本文件规定了晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉（以下简称“扩散炉”）的术语和定义、主要技术指标、相关试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存应注意的事项。
本文件适用于晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉的设计、制造，主要用于光伏电池制造中硅片的硼掺杂、磷掺杂等工艺。
本文件适用于晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉的设计、制造，主要用于光伏电池制造中硅片的硼掺杂、磷掺杂等工艺。
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