标准编号：T/SZZXH 5-2025
标准名称：半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范
英文名称：Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing
发布部门：深圳市战略性新兴产业发展促进会
起草单位：科讯工业制造(深圳)有限公司、东莞市富强高分子材料有限公司、深圳市恩欣龙特种材料股份有限公司、深圳市维普利精密制造有限公司、金华永和氟化工有限公司、宁波联大塑料管件有限公司、深圳市战略性新兴产业发展促进会
标准状态：现行
发布日期：2025-05-30
实施日期：2025-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门的制造要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于PFA阀门的制造与检验。
本文件适用于PFA阀门的制造与检验。
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