标准编号：T/CASME 1953-2025
标准名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
英文名称：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
发布部门：中国中小商业企业协会
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2025-03-21
实施日期：2025-04-21
标准格式：PDF
内容简介
本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
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