标准编号：T/CI 961-2025
标准名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
发布部门：中国国际科技促进会
起草单位：宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司
发布日期：2025-04-15
实施日期：2025-04-15
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：332.81 KB
内容简介
本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。
本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。
本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。
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