标准编号：T/ZJBDT 010-2025
标准名称：高温工艺用硅制晶舟
发布部门：浙江省半导体行业协会
起草单位：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、浙江大学、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
发布日期：2025-12-05
实施日期：2025-12-05
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：429.94 KB
内容简介
本文件规定了高温工艺用硅制晶舟的外形结构、硅材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和质量承诺。
本文件适用于硅单晶、硅多晶以拼接、熔接方式加工而成的,主要用于氧化、扩散、退火以及化学气相沉积工艺,直径150~350mm的硅制晶舟。
本文件适用于硅单晶、硅多晶以拼接、熔接方式加工而成的,主要用于氧化、扩散、退火以及化学气相沉积工艺,直径150~350mm的硅制晶舟。
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