标准编号：T/CCGA 30009-2025
标准名称：电子级混合气体配制技术要求
发布部门：中国工业气体工业协会
起草单位：北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会
发布日期：2025-04-25
实施日期：2025-05-25
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：490.39 KB
内容简介
本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求,标志、包装及使用要求。
本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。
本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。
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