标准编号：SN/T 5822-2025
标准名称：可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材
发布部门：中华人民共和国海关总署
起草单位：广州海关技术中心、宁波海关、中国有色金属工业协会再生金属分会、中国环境科学研究院、中国海关科学技术研究中心、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
发布日期：2025-07-25
实施日期：2026-02-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.91 MB
内容简介
本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别。
本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。
本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。
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