标准编号：T/ZZB 3947-2025
标准名称：硅舟
发布部门：浙江省质量协会
起草单位：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
发布日期：2025-12-20
实施日期：2025-12-31
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：593.15 KB
内容简介
本文件规定了硅舟的产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及质量承诺。
本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积(CVD)工艺直径150 mm~350 mm的拼接式、熔接式硅舟。
本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积(CVD)工艺直径150 mm~350 mm的拼接式、熔接式硅舟。
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