标准编号：T/ZZB 3949-2025
标准名称：阻焊制程激光直写式光刻设备
发布部门：浙江省质量协会
起草单位：杭州欣俊哲微纳科技有限公司、安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司
发布日期：2025-12-20
实施日期：2025-12-31
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：252.67 KB
内容简介
本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备(以下简称“光刻设备”)的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺。
本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中,利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备。
本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中,利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备。
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