DB31/T 792-2026 硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额

本文件规定了硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围、计算方法及节能降耗导向。
本文件适用于半导体级硅单晶棒和单晶硅片(包括单晶硅抛光片、单晶硅外延片,以下统称“单晶硅片”)生产企业单位产品能源消耗的计算、考核以及对新建项目单位产品能源消耗的控制。