2022年1月1日 ... 本标准规定了抛光设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于机械抛光、化学抛光、化学机械抛光等平面抛光设备工艺性能的验证。

2022年1月1日 ... 本标准规定了干法刻蚀设备工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。本标准适用于干法刻蚀设备(以下简称刻蚀设备)的工艺性能的验证。

2022年1月1日 ... 本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收。

2022年1月1日 ... 本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设各(以下简称镀膜设备)工艺性能的验证。

2022年1月1日 ... 本标准规定了自动光学检测系统工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。本标准适用于检测印制电路板和陶瓷基板的自动光学检测系统（以

2022年1月1日 ... 本规范规定了自动光学检测系统的通用要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于电路基板（包括印制电路板和陶瓷基板）检测用的自动光学检测

2022年1月1日 ... SJ 21248-2018 真空软钎焊设备工艺验证方法

2022年1月1日 ... 本标准规定了微组装电镀系统工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于引线框架电镀、悬臂电镀、晶圆凸点电镀、高速自动电

2022年1月1日 ... 本标准规定了精密组装系统工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于精密组装系统(以下简称设备）工艺性能的验证。

2022年1月1日 ... 本规范规定了真空软钎焊设备的通用要求、质量保证规定和交货准备。本规范适用于真空软钎焊设备(以下简称设备）的设计、生产、检验和验收。气氛