2022年1月1日 ... 本标准规定了微波组件印制板焊膏印刷有关的漏板开孔和焊膏印刷的工艺参数设置等工艺技术要求和检验要求。本标准适用于微波组件用的敷铜类印制

2022年1月1日 ... 本标准规定了微波组件设计、生产工艺过程和包装、储运等防静电设计的一般要求和详细要求。本标准适用于微波组件防静电设计。

2022年1月1日 ... 本标准规定了微波组件可靠性分配和预计、电路的可靠性设计、元器件的选择与使用、电路的容差设计、防瞬态过应力设计、容错、冗余和防差错设计

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS陀螺仪参数的测试环境、测试设备和仪器的一般要求，以及参数测试目的、测试框图、测试原理、规定条件、测试步骤和计算方法。本

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用于MEMS陀

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS加速度传感器电参数的测试环境、测试设备和仪器的一般要求，以及参数测试目的、测试框图、测试原理、规定条件、测试步骤和计算

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS加速度传感器制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试

2022年1月1日 ... 本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计。

2022年1月1日 ... 本标准规定了金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证的一般要求、试验条件和验证方法等内容。本标准适用于金属有机物化学气相淀积设备（以下