标准编号：GB/T 15870-1995
标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
英文名称：Chrome thin films for hard surface photomasks
发布部门：国家技术监督局
起草单位：长沙韶光微电子总公司
标准状态：现行
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。
本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜。
本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜。
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