标准编号：GB/T 15872-1995
标准名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国华晶电子集团公司
标准状态：作废
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别，选择电源接插件、导线和电缆的要求。
本标准适用于半导体设备的电源接口。
本标准适用于半导体设备的电源接口。
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