标准编号:JB/T 10789-2007
标准名称:高压晶体炉 TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉
发布部门:国家发展和改革委员会
起草单位:西安理工大学晶体生长设备研究所
归口单位:全国工业电热设备标准化技术委员会
发布日期:2007年8月28日
实施日期:2008年2月1日
文件格式:PDF
文件大小:492.74 KB
内容简介
本标准规定了对TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉(以下简称高压晶体炉)的各项要求,包括品种规格、技术性能及订购和供货等。
本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族(或Ⅱ-Ⅵ族)化合物单晶的高压晶体炉。
本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族(或Ⅱ-Ⅵ族)化合物单晶的高压晶体炉。
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