标准编号：GB/T 14143-1993
标准名称：300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
英文名称：300～900μm Silicon slices--Measuring of interstitial oxygen content--Infrared absorption method
发布部门：国家技术监督局
起草单位：机电部第四十六研究所
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300～900μm的硅片间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。
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