标准编号：GB/T 14146-1993
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
英文名称：Silicon epitaxial layers--Determination of carrier concentration--Mercury probe Valtage-capacitance method
发布部门：国家技术监督局
起草单位：上海市有色金属总公司
标准状态：作废
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容-电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。
下载地址