标准编号：GB/T 14847-1993
标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
英文名称：Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
发布部门：
起草单位：机电部四十六所
标准状态：作废
发布日期：1993-12-30
实施日期：1994-09-01
标准格式：PDF
内容简介
测量;外延层;厚度;红外线辐射;衬底(绝缘);硅
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