标准编号：GB/T 4298-1984
标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
发布部门：国家标准局
起草单位：有色金属研究总院
标准状态：现行
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
标准格式：PDF
内容简介
金属;含量测定;材料;杂质;非金属夹杂物;辐射测量法;硅;半导体
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