标准编号：GB/T 13843-1992
标准名称：蓝宝石单晶抛光衬底片
英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates
发布部门：国家技术监督局
起草单位：天津半导体技术研究所
标准状态：现行
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。
本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
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