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GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

标准编号:GB/T 14015-1992
标准名称:硅-蓝宝石外延片
英文名称:Silicon on sapphire epitaxial wafers
发布部门:国家技术监督局
起草单位:天津半导体技术研究所
标准状态:现行
发布日期:1992-12-28
实施日期:1993-08-01
标准格式:PDF
内容简介
蓝宝石外延片
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