标准编号：GB/T 11446.9-1997
标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法
英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国科学院半导体研究所
标准状态：作废
发布日期：1997-09-01
实施日期：1998-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径大于或等于0.5um,微粒的浓度为(0～10000)个/mL。
本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径大于或等于0.5um,微粒的浓度为(0～10000)个/mL。
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