标准编号：GB/T 16524-1996
标准名称：光掩模对准标记规范
英文名称：Specification for registration marks for photomasks
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国科学院微电子中心
标准状态：现行
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。
本规范适用于光掩模。
本规范适用于光掩模。
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