标准编号：GB/T 15873-1995
标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则
英文名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
发布部门：国家技术监督局
起草单位：中国华晶电子集团公司
标准状态：现行
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体设施接口技术文件编写的基本要求和格式。
本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。
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