标准编号：GB/T 15871-1995
标准名称：硬面光掩模基板
英文名称：Hard surface photomask substrates
发布部门：国家技术监督局
起草单位：长沙韶光微电子总公司
标准状态：现行
发布日期：1995-12-22
实施日期：1996-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。
本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。
本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。
下载地址