标准编号：GB/T 1554-2009
标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
英文名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
标准状态：现行
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
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