标准编号:GB/T 1555-2009
标准名称:半导体单晶晶向测定方法
英文名称:Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。
本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。
本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。
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