标准编号：GB/T 8758-2006
标准名称：砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
英文名称：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：北京有色金属研究总院
标准状态：现行
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
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