标准编号：GB/T 11073-2007
标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：峨嵋山半导体材料厂
标准状态：现行
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用直排四探针法测量硅片径向电阻率变化的方法。
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