标准编号：GB/T 12963-2009
标准名称：硅多晶
英文名称：Specification for polycrystalline silicon
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：峨眉半导体材料厂
标准状态：作废
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅多晶的产品分类﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。
本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
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