标准编号:GB/T 14604-2009
标准名称:电子工业用气体 氧
英文名称:Gas for electronic industry - Oxygen
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
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