标准编号：GB/T 17473.3-2008
标准名称：微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定
英文名称：Test methods of precious metals pastes used for microelectronics Determination of sheet resistance
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：贵研铂业股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2008-03-31
实施日期：2008-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了微电子技术用贵金属浆料中方阻的测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料方阻的测定。
本标准是对GB/T17473—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》（所有部分）的整合修订，分为7个部分.本部分为GB/T17473—2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473．3—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》。
本标准是对GB/T17473—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》（所有部分）的整合修订，分为7个部分.本部分为GB/T17473—2008的第3部分。
本部分代替GB/T17473．3—1998《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定》。
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