标准编号：GB/T 18994-2003
标准名称：电子工业用气体 高纯氯
英文名称：Gases for electronic industry--High purity chlorine
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：光明化工研究设计院
标准状态：作废
发布日期：2003-03-05
实施日期：2003-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。
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