标准编号：GB/T 20307-2006
标准名称：纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
英文名称：General rules for nanometer-scale length measurement by SEM
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学，中国科学院化学所，中国地质科学院矿产资源研究所，上海理工大学
标准状态：现行
发布日期：2006-07-19
实施日期：2007-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。
本部分适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。
本部分适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。
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