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GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩

标准编号:GB/T 16945-2009
标准名称:电子工业用气体 氩
英文名称:Gas for electronic industry - Argon
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
  本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。
  氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
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