标准编号：GB/T 22572-2008
标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心
标准状态：现行
发布日期：2008-12-11
实施日期：2009-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准详细说明了在SImS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
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