标准编号：GB/T 26249-2010
标准名称：电子工业用气体 硒化氢
英文名称：Gases for electronic industry - Hydrogen selenide
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司
标准状态：现行
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
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